产品特点：
● 采用高精度花岗岩底座和立柱，确保机台拥有的高稳定性和精确度；
● 采用高精密无牙光杆和快速移动锁紧装置，确保工作台回程误差在2um以内；
● 采用高精度A级仪器光学尺配合精密工作台，确保机台精度在≤2.5+L/200um以内；
● 采用高清变焦镜头和高解析度彩色数字相机，确保画质清晰无畸变；
● 采用程控式表面4环8区LED冷光源和透射LED平行光源，以及内置智能灯光调节模块，可自由控制灯光在4环8区任何区域的亮度；
● 功能强大的iMeasuring2.1影像测量软件，提升品质管控到新的台阶；
● 可选进口接触式探针和三维测量软件，轻松将机台升级成为接触式三次元测量机；
● 可选FexQMS测量数据分析及和实时监控软件，提升制程控制、降低物料耗损。
● 采用高精度花岗岩底座和立柱，确保机台拥有的高稳定性和精确度；
● 采用高精密无牙光杆和快速移动锁紧装置，确保工作台回程误差在2um以内；
● 采用高精度A级仪器光学尺配合精密工作台，确保机台精度在≤2.5+L/200um以内；
● 采用高清变焦镜头和高解析度彩色数字相机，确保画质清晰无畸变；
● 采用程控式表面4环8区LED冷光源和透射LED平行光源，以及内置智能灯光调节模块，可自由控制灯光在4环8区任何区域的亮度；
● 功能强大的iMeasuring2.1影像测量软件，提升品质管控到新的台阶；
● 可选进口接触式探针和三维测量软件，轻松将机台升级成为接触式三次元测量机；
● 可选FexQMS测量数据分析及和实时监控软件，提升制程控制、降低物料耗损。
配置参数：
| 仪器型号 | iMS-3020 |
| 仪器货号# | 521-160 |
| 金属工作台 | 458x358mm |
| 玻璃工作台 | 356x248mm |
| X/Y轴行程 | 300x200mm |
| Z轴 | 高精度直线导轨，有效行程200mm |
| X/Y/Z轴分辨率 | 0.0005mm |
| X/Y轴精度 | ≤2.5+L/200(um) |
| 重复精度 | 2um |
| 底座和立柱 | 高精度济南青花岗岩 |
| 照明系统（软件调控） | 表面4环8区无级可调LED冷光源 |
| 透射LED平行（面）光源 | |
| LED镭射导航指示灯 | |
| CCD | 高分辨率650TVL彩色CCD |
| 变焦物镜 | 6.5X高分辨率定格定倍变焦物镜 |
| 光学放大倍率：0.7X~4.5X倍；视频放大倍率：26X~172X | |
| 工作环境 | 温度：20℃±2℃，温度变化<2℃/hr |
| 湿度：30% ~80%RH | |
| 震动<0.002g，低于15Hz | |
| 测量软件 | iMeasuring 2.1 |
| 操作系统 | 支持XP，WIN7，WIN8.1，WIN10，32/64位操作系统 |
| 操作语言 | 英文、简体中文、繁体中文，可增加其他语言版本 |
| 外形尺寸(WxDxH) | 838x667x1000mm |
| 净重 | 185Kg |