产品简介：
● 采用高精度花岗岩底座和立柱，确保机台拥有的高稳定性和精确度；
● 采用高精密无牙光杆和快速移动锁紧装置，确保工作台回程误差在2um以内；
● 采用高精度A级仪器光学尺配合精密工作台，确保机台精度在≤2.5+L/200um以内；
● 采用高清变焦镜头和高解析度彩色相机，确保画质清晰无畸变；
● 采用程控式表面4环8区LED冷光源和透射LED平行光源，以及内置智能灯光调节模块，可自由控制灯光在4环8区任何区域的亮度；
● Z轴采用高精度直线导轨和伺服电机控制系统，实现自动对焦，消除人为聚焦误差，提升测量精度和稳定性；
● 功能强大的iMeasuring2.2影像测量软件，提升品质管控到新的台阶；
● 可选进口接触式探针和三维测量软件，轻松将机台升级成为接触式三次元测量机；
● 可选FexQMS测量数据分析及和实时监控软件，提升制程控制、降低物料耗损。